電感耦合等離子體(ti) 質譜（ICP-MS）是一項高度複雜的多元素分析技術，它正越來越多地在製藥行業(ye) 、食品與(yu) 飲料行業(ye) 以及環境監測中用於(yu) 痕量元素的檢測與(yu) 定量分析。

汙染物的影響

在基於(yu) ICP-MS技術的痕量分析過程中，主要在前期步驟使用純水。顯而易見，任何存在於(yu) 水中的汙染物都可能對分析過程的所有其它步驟產(chan) 生不利影響。因此，分析過程中使用的純水，例如用於(yu) 樣品稀釋的純水等，都應該幾乎不含離子，同時具有相對較低的TOC濃度。

實驗室純水中汙染物的影響：

總有機碳（TOC）化合物：

導致有機金屬化合物的產(chan) 生，從(cong) 而對痕量分析結果造成不利影響

汙染設備組件

高離子濃度（電導率）：

大大影響分析物的能譜分析結果

導致分析結果失真

顆粒物：

堵塞分析儀(yi) 器（如霧化器等）部件

可結合金屬，從(cong) 而影響分析結果

細菌：

堵塞係統組件

釋放離子

關(guan) 鍵因素

特別是，低離子濃度在製備ICP質譜分析樣品時能夠起到關(guan) 鍵作用。由於(yu) ICP-MS是一項極為(wei) 複雜的分析方法，因此所用純水必須具備極高的質量，例如電導率為(wei) 0.055 μS/cm的ASTM I級超純水。此外，TOC水平必須保持在較低值（建議<10ppb）。