中華人民共和國國家標準：電子級水(GB/T 11446.1-2013)

電子級水

1 範圍

GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。

本部分使用與(yu) 電子和半導體(ti) 工業(ye) 永高純清洗用水。

2 規範性引用文件

下列文件對於(yu) 本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅(jin) 注日期的版本適用於(yu) 本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用於(yu) 本文件。

GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法

GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化矽的分光光度測試方法

GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法

GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法

GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀(yi) 器測試方法

GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養(yang) 測試方法

3 術語和定義(yi)

下列術語和定義(yi) 適用於(yu) 本文件。

3.1

電子級水 electronic grade water

電子和半導體(ti) 工藝過程中所用的高純水。

3.2

電阻率 resistivity

在規定溫度下，1cm3(正立方體(ti) )水溶液兩(liang) 相對麵之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示，單位為(wei) 歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為(wei) 18.3MΩ·cm(25℃)。

3.3

全矽 total silicon

水中可溶性矽和以二氧化矽膠體(ti) 狀態存在的矽的總量。

3.4

可溶性矽 soluble silicon

以單一分子狀態存在於(yu) 水中的溶解性矽酸鹽。

3.5

微粒性物質 granular matter

除氣體(ti) 外，以非液體(ti) 分散在水中，並形成非均相混合物的物質。

3.6

總有機碳 total organic carbon;TOC

水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。

3.7

吸附 absorption

某些多孔性粒狀物質由於(yu) 表麵活性作用而具有吸著某些物質的現象。

3.8

凝聚 coagulation

在源水中加入某種電解質後，水中帶有電荷的膠體(ti) 微粒被電解質中的異種電荷中和，從(cong) 而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。

3.9

絮凝 flocculation

水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為(wei) 絮狀沉澱的現象。絮凝一般是再凝聚作用後緩慢進行，可除去水中更細的微粒。

3.10

砂濾器 sand filter

用於(yu) 盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體(ti) 和渾濁物的裝置。

3.11

活性碳過濾器 activated carbon filter

裝有粒狀活性碳的過濾器，用於(yu) 除去水中的可溶性有機物和過量的殘餘(yu) 氯。

3.12

離子交換 ion exchange

一種不溶性物質與(yu) 一種液體(ti) 之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質並無實質性結構變化。

3.13

離子交換樹脂 ion-exchange resin

一種合成的有機離子交換材料。

3.14

去離子水 deionized water

經過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質的高純水

3.15

再生 regeneration

離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中，用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢複交換能力。

3.16

複合床 complex bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩(liang) 個(ge) 離子交換柱中，將兩(liang) 柱串聯，使水依次通過兩(liang) 個(ge) 柱而被純化。

3.17

混合床 mixed bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充於(yu) 同一離子交換柱中，其純化效果相當於(yu) 許多複合床串聯使用。

3.18

電滲析 electrodialysis

一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩(liang) 極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一係列小室。水流通過小室時，在電流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動，但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。

3.19

逆向滲透 reverse osmosis

用半透膜將濃水和淡水隔開，並在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中，達到分離提純的目的。

3.20

反滲透膜 reverse osmosis membrane

用於(yu) 反滲透法製備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為(wei) 0.02μm或更小，可用於(yu) 除去無機離子、有機物、細菌等，使水純化。

3.21

微孔膜濾器 membrane filter

一種平均孔徑(直徑)大於(yu) 0.01μm的薄膜，能把大於(yu) 平均孔徑的微粒截留在其表麵或附近。

3.22

超過濾 ultrafiltration

一種過濾方法，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體(ti) 和細菌等。

3.23

終端 terminal

高純水生產(chan) 流程中經過各道淨化工藝後，水的出口或使用地點。

3.24

無菌 sterile

不含任何活有機體(ti) (不論是活躍的或休眠的)。

3.25

PH

水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。

4 分類和標記

4.1 分類

電子級水分為(wei) 四個(ge) 級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。

4.2 標記

Ⅰ級電子級水標記為(wei) ：EW-Ⅰ。

Ⅱ級電子級水標記為(wei) ：EW-Ⅱ。

Ⅲ級電子級水標記為(wei) ：EW-Ⅲ。

Ⅳ級電子級水標記為(wei) ：EW-Ⅳ。

5 要求

電子級水的技術指標應符合表1規定。

表1 電子級水的技術指標

項目		技術指標
		EW-Ⅰ	EW-Ⅱ	EW-Ⅲ	EW-Ⅳ
電阻率（25℃）/MΩ·cm		≥18 （5%時間不低於17）	≥15 （5%時間不低於13）	≥12	≥0.5
全矽/（μg/L）		≤2	≤10	≤50	≤1000
微粒數/ （個/L）	0.05μm~0.1μm	500	-	-	-
	0.1μm~0.2μm	300	-	-	-
	0.2μm~0.3μm	50	-	-	-
	0.3μm~0.5μm	20	-	-	-
	＞0.5μm	4	-	-	-
細菌個數/（個/mL）		≤0.01	≤0.1	≤10	≤100
銅/（μg/L）		≤0.2	≤1	≤2	≤500
鋅/（μg/L）		≤0.2	≤1	≤5	≤500
鎳/（μg/L）		≤0.1	≤1	≤2	≤500
鈉/（μg/L）		≤0.5	≤2	≤5	≤1000
鉀/（μg/L）		≤0.5	≤2	≤5	≤500
鐵/（μg/L）		≤0.1	-	-	-
鉛/（μg/L）		≤0.1	-	-	-
氟/（μg/L）		≤1	-	-	-
氯/（μg/L）		≤1	≤1	≤10	≤1000
亞硝酸根/（μg/L）		≤1	-	-	-
溴/（μg/L）		≤1	-	-	-
硝酸根/（μg/L）		≤1	≤1	≤5	≤500
磷酸根/（μg/L）		≤1	≤1	≤5	≤500

 

6 試驗方法

6.1 電阻率

電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。

6.2 全矽含量(以二氧化矽計)

電子級水全矽(以二氧化矽計)含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

6.3 微粒數

電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。

6.4 細菌總數

電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。

6.5 痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。

6.6 氟離子、氯離子、亞(ya) 硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氟離子、氯離子、亞(ya) 硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。

6.7 總有機碳含量

電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。

7 檢驗規則

7.1檢驗部門

電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。

7.2 檢驗分類

電子級水的檢驗分為(wei) 交收檢驗和例行檢驗。

7.3交收檢驗

7.3.1 抽驗項目

電子級水中電阻率、鈉離子、全矽(以二氧化矽計)為(wei) 交收檢驗項目。

7.3.2 合格判據

在用水終端采樣，檢驗後檢驗結果如有一項或一項以上不合格時，應再次采樣經行檢驗，如仍不合格，則該批不合格，應提出改進措施直到水質合格。

7.4 例行檢驗(全檢項目)

7.4.1 檢驗項目

檢驗項目為(wei) 表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響後序實驗結果的原則進行檢驗。

7.4.2 不合格判定

在用水終端采樣後進行例行檢驗，檢驗結果如有不合格項時，應再次采樣進行檢驗，如仍有不合格項時，應提出改進措施直到水質合格。

7.4.3 檢驗頻次

例行檢驗至少每年進行一次，當製水條件發生變更時也應進行例行檢驗。

8 采樣、貯存、運輸及標誌

8.1采樣、貯存、運輸

電子級水的采樣、貯存、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定。

8.2 標誌

在用水終端采樣進行檢驗時，水質合格後應附有檢驗合格證，合格證應包含如下內(nei) 容：

名稱及級別;

各項技術指標;

製水單位;

供水日期;

檢驗員簽章及檢驗日期。