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電子行業超純水係統詳解

文章出處:admin 人氣:發表時間:2019-11-01

隨著華為(wei) 世界市場的不斷擴展,中國的電子行業(ye) 也在如火如荼的高速發展,而在電子行業(ye) 的生產(chan) 以及研發過程中,都不可缺少超純水的使用,滲源電子級超純水設備則是為(wei) 國內(nei) 電子行業(ye) 的生產(chan) 與(yu) 研發而誕生的超純水係統。水質能完全符合國內(nei) 電子級超純水行業(ye) 規定,特別是對金屬離子的控製,能做到十分的精密,這一點就在於(yu) 使用進口高端的EDI電滲析技術,能滿足國內(nei) 的任何一家電子企業(ye) 的生產(chan) 與(yu) 使用,而且價(jia) 格遠低於(yu) 進口超純水係統,真正的性價(jia) 比之王。

 

電子級超純水係統

 

在電子工業(ye) 主要是線路板、電子元器件生產(chan) 都需要使用去離子水/超純水,這類產(chan) 品精密度非常高,在生產(chan) 過程中的重要度也在不斷的提升,已經慢慢成為(wei) 能影響產(chan) 品生產(chan) 質量的重要因素。一款好的超純水係統,能將生產(chan) 線路板、電子元器件生產(chan) 過程中直接影響到實驗結果和生產(chan) 結果的金屬離子降到最低,使最終生產(chan) 品質得到不錯的提升。

 

在晶體(ti) 管、集成電路生產(chan) 中,超純水主要用於(yu) 清洗矽片,另有少量用於(yu) 藥液配製,矽片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配製電鍍液等。集成電路生產(chan) 過程中的80%的工序需要使用高純水清洗矽片,水質的好壞與(yu) 集成電路的產(chan) 品質量及生產(chan) 成品率關(guan) 係很大。水中的堿金屬(K、Na等)會(hui) 使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會(hui) 使PN結耐壓降低,Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會(hui) 使N型半導體(ti) 特性惡化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會(hui) 使P型半導體(ti) 特性惡化,水中細菌高溫碳化後的磷(約占灰分的20-50%)會(hui) 使P型矽片上的局部區域變為(wei) N型矽而導致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細菌)如吸附在矽片表麵,就會(hui) 引起電路短路或特性變差。

 

集成電路(DRAM)對純水水質的要求:

 

集成度

16K

64K

256K

1M

4M

16M

相鄰線距(um)

4

2.2

1.8

1.2

0.8

0.5

微粒直徑(um)

0.4

0.2

0.2

0.1

0.08

0.05

微粒個(ge) 數(PCS/ml)

<100

<100

<20

<20

<10

<10

細菌(CFU/100ML)

<100

<50

<10

<5

<1

<0.5

電阻率(us/cm)

>16

>17

>17.5

>18

>18

>18.2

TOC(ppb)

<1000

<500

<100

<50

<30

<10

DO(ppb)

<500

<200

<100

<80

<50

<10

Na*(ppb)

<1

<1

<0.8

<0.5

<0.1

<0.1

 

電子超純水設備是保證電子產(chan) 品質量安全促進電子業(ye) 健康運行的依據,電子超純水設備適用集成電路生產(chan) 中高純水清洗矽片、半導體(ti) 材料、晶元材料生產(chan) 、加工,滲源的電子工業(ye) 超純水設備廣泛的用於(yu) 在電子業(ye) 中,而且在電子業(ye) 中的地位更是蒸蒸日上成為(wei) 業(ye) 內(nei) 發展的重要推手。

 

電子行業超純水特點:

 

目前我國電子工業(ye) 部把電子級水質技術分為(wei) 五個(ge) 行業(ye) 等級,分別為(wei) 18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。半導體(ti) 、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(ye) 、大規模、超大規模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。

 

電子行業(ye) 超純水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什麽(me) 雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當然也沒有人體(ti) 所需的礦物質微量元素。這種級別的超純水是一般工藝很難達到的程度,如水的電阻率大於(yu) 18MΩ*cm,接近於(yu) 18.3MΩ*cm則稱為(wei) 超純水。目前,超純水設備的方法通常采用反滲透,去離子或電滲析(EDI)等工藝進行製備。

 

中國電子行業超純水國家標:

 


指標

EW-I(一級水)

EW-II(二級水)

電阻率MΩ.cm(25℃)

18以上(95%時間)不低於(yu) 17

15(95%時間)不低於(yu) 13

矽≤ μ g/l

2

10

> 1 μ M 微粒數≤個(ge) /ml

0.1

5

細菌個(ge) 數≤個(ge) /ml

0.01

0.1

銅≤ μ g/l

0.2

1

鋅≤ μ g/l

0.2

1

鎳≤ μ g/l

0.1

1

鈉≤ μ g/l

0.5

2

鉀≤ μ g/l

0.5

2

氯≤ μ g/l

1

1

硝酸根≤ μ g/l

1

1

磷酸根≤ μ g/l

1

1

硫酸根≤ μ g/l

1

1

總有機碳≤ μ g/l

20

100

 

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