超純水又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什麽(me) 雜質，更沒有細菌、病毒等物質，當然也沒有人體(ti) 所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用於(yu) 超純材料（半導體(ti) 原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨(lin) 界精細技術的製備過程。

在原子光譜、高效液相色譜、超純物質分析、痕量物質等的某些實驗中，需要用超純水，超純水的製備如下：

（1）加入少量高錳酸鉀的水源，用玻璃蒸餾裝置進行二次蒸餾，再以全石英蒸餾器進行蒸餾，收集於(yu) 石英容器中，可得超純水。

（2）使用強酸型陽離子和強堿型陰離子交換樹脂柱的混合床或串聯柱。可充分除去水中的陽、陰離子，其電阻率達10 Q·cm的水，俗稱去離子水，再用全石英蒸餾器進行蒸餾，收集可得超純水。

超純水可以在以下領域使用：

（1）電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
（2）化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。
（3）單晶矽、半導體(ti) 晶片切割製造、半導體(ti) 芯片、半導體(ti) 封裝 、引線櫃架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件 、電容器潔淨產(chan) 品及各種元器件等生產(chan) 工藝。
（4）高壓變電器的清洗等。