電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)

1範圍

本標準規定了電子級水的級別、要求、試驗方法和檢驗規則。

本標準適用於(yu) 電子元器件生產(chan) 和清洗用水。

2引用標準

下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用麗(li) 構成為(wei) 本標準的條文。本標準出版時，所示版本均為(wei) 有效。所有標準都會(hui) 被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準zui新版本的可能性。

GB/T 11446.3——1997 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.4——l997 電子級水電阻率的測試方法

GB/T 11446.5——1997 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

GB/T 11446.6——1997 電子級水中二氧化矽的分光光度測試方法

GB/T 11446.7——1997 電子級水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法

GB/T 11446.8——1997 電子級水中總有機碳的測試方法

GB/T 11446.9——1997 電子級水中微粒的儀(yi) 器測試方法

GB/T 11446.10——1997 電子級水細菌總數的濾膜培養(yang) 測試方法

3定義(yi)

本標準采用下列定義(yi) 。

3.1電子級水electronic grade water

製造電子元器件工藝過程中所用的高純水。

3.2電阻率resistivity

在規定溫度下,1 cm2水溶液兩(liang) 相對麵之間測得的電阻值。通常用符號P表示，單位為(wei) Ω﹒cm，純水的理論電阻率為(wei) 18.3 MΩ﹒cm (25℃)。

3.3全矽total silicon

水中可溶性矽和以二氧化矽膠體(ti) 狀態存在的矽的總量。

3.4可溶性矽soluble silicon

以單一分子狀態存在於(yu) 水中的溶解性矽酸鹽。

3.5微粒性物質granular matter

除氣體(ti) 以外，以非液態分散在水中，並形成非均相混合物的物質。

3.6總有機碳(TOC) total organic carbon

水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。

3.7吸附absorption

某些多孔性粒狀物質由於(yu) 表麵活性作用而具有吸著某些物質的能力。

3.8凝聚coagulation

在源水中加入某種電解質後，水中帶有電荷的膠體(ti) 微粒被電解質中的異種電荷中和，從(cong) 而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。

3.9絮凝flocculation

水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為(wei) 絮狀沉澱的現象。絮凝一般是在凝聚作用後

緩慢進行，可除去水中更細的微粒。

3.10砂濾器sand filter

用於(yu) 盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體(ti) 和混濁物的裝置。

3.11活性碳過濾器activated carbon filter

裝有粒狀活性碳的過濾器，用於(yu) 除去水中的可溶性有機物和過量的殘餘(yu) 氯。

3.12離子交換ion exchange

一種不溶性物質與(yu) 一種液體(ti) 之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質並無實質性結構變化。

3.13去離子水deionized water

經過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質的高純水。

3. 14再生regeneration

離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中，用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢複交換能力。

3.15複合床complex bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩(liang) 個(ge) 離子交換柱中，將兩(liang) 柱串聯，使水依次通過兩(liang) 個(ge) 柱而被純化，複合床處理水的純度雖不及混合床，但操作較簡單。

3.16混合床mixed bed

將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充於(yu) 同一離子交換柱中，其純化效果相當於(yu) 許多組合床串聯使用，出水質量好但再生比較麻煩。

3.17電滲析electrodialysia

一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩(liang) 極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一係列小室，水流通過小室時，在直流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動，但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。

3.18反滲透reverse osmosis

亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開，並在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中，達到分離提純的目的。

3.19反滲透膜reverse osmosis membrane

用於(yu) 反滲透法製備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為(wei) 0. 02 μm或更小，可用於(yu) 除去無機離子、有機物、細菌等，使水純化。

3. 20微孔膜濾器membrane filter

一種平均孔徑(直徑)大於(yu) 0. Olμm的薄膜，能把大於(yu) 平均孔徑的微粒截留在其表麵或附近。

3.21超過濾uhrafihration

一種過濾方法，在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體(ti) 和細菌等。

3.22終端terminal

高純水生產(chan) 流程中經過各道淨化工藝後，水的出口或使用地點。

4、分類

4.1電子級水分為(wei) 四個(ge) 級別;I級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。

4.2標記

I級電子級水標記為(wei) ：EW-I;

I級電子級水標記為(wei) ;EW-Ⅱ;

I級電子級水標記為(wei) ;EW-Ⅲ;

Ⅳ級電子級水標記為(wei) .EW-Ⅳ。

5要求

電子級水的技術指標應符合表1的規定。

6試驗方法

6.1電阻率

電子級水的電阻率按GB/T11446.4--1997的測試方法進行測定。

6.2全矽含量(以二氧化矽計)

電子級水全矽(以二氧化矽計)含量按GB/T11446.6--1997的測試方法進行測定。

6.3微粒數

電子級水中微粒數按GB/T11446.9--1997的測試方法進行測定。

6.4細菌總數

電子級水中細菌總數按GB/T11446.10--1997的測試方法進行測定。

6.5痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T11446. 5--1997的測試方法進行測定。

6.6氯離子，硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7-- 1997的測試方法進行測定。

6.7總有機碳含量

電子級水中總機碳含量按GB/T11446.8--1997的測試方法進行測定。

7 檢驗規則

7.1檢驗部門

電子級水的檢驗均應在製造廠的水質檢驗部門進行。

7.2檢驗分類

電子級水的檢驗分為(wei) 交收檢驗和例行檢驗。

7.3交收檢驗(抽驗項目)

7.3.1電子級水技術指標中電阻率、鈉離子、全矽(以二氧化矽計)為(wei) 交收檢驗項目。

7.3.2在用水終端采樣試驗後檢驗結果如有一項不合格時，應再次采樣進行檢驗，如仍有一項指標不合格，應提出改進措施直到水質合格。

7.4例行檢驗(全檢項目)

例行檢驗每年進行一次，當製水條件發生變更時也應進行例行檢驗。

7.4.1檢驗項目為(wei) 表1規定的全部技術指標要求。

7.4.2在用水終端采樣後進行例行檢驗，檢驗結果如有一項以上不合格時，應再次采樣進行檢驗，如仍有一項以上指標不合格，應提出改進措施直到水質合格。

8 采樣、貯存、運輸及標誌

8.1 電子級水的采樣、貯存運輸按GB/T11446.3--1997的規定。

8.2標誌：在用水終端采樣進行檢驗時，水質合格後應附有檢驗合格證，合格證應注明;

a) 名稱及級別;

b) 各項技術指標;

c) 製水單位;

d) 供水日期;

e) 檢驗員簽章及檢驗日期。